晶圓烘箱的應(yīng)用

晶圓烘箱用于晶圓、半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

　　工作原理主要基于熱對(duì)流方式。在烘箱內(nèi)部，通過(guò)電熱器等產(chǎn)生熱風(fēng)，使熱風(fēng)循環(huán)流動(dòng)，從而對(duì)待烘干的半導(dǎo)體材料進(jìn)行均勻地加熱和干燥。這種加熱方式特別適合處理較厚的半導(dǎo)體材料，并能達(dá)到較好的烘干效果。

　　晶圓烘箱通常具有多種特性，例如密封性能好、置物架設(shè)計(jì)方便、控溫靈敏準(zhǔn)確等。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中起到了保證晶圓干燥度和表面純凈度的重要作用，是確保半導(dǎo)體器件質(zhì)量和可靠性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一。

　　本公司提供的晶圓烘箱采用導(dǎo)軌式智能AI溫度控制模塊，控溫精度0.1級(jí)，自動(dòng)恒溫，智能PID演算，帶30段程序升溫，帶傳感器斷線警報(bào)，AT自整定，超溫控制，斷電記憶功能，控溫準(zhǔn)，穩(wěn)定性好。