PI固化烘箱的應用

PI是什么

聚酰亞胺（PI）是目前在半導體和微電子工業中應用最為廣泛的高分子材料之一。PI是一類由酰亞胺環單體（如圖1）組成的聚合物。其中芳香族結構PI的熱學性能穩定，因此通常微電子工業所用的PI材料是由芳香族的四酸二酐和芳香族二胺在有機溶液中發生縮聚反應生成聚酰胺酸或聚酰胺酯，而后經過一定的方法使其亞胺化（環化）得到PI。由于PI骨架上有環狀酰亞胺的剛性結構和芳香結構使得其具有很好的熱穩定性、優異的機械性能（強度高、膨脹系數低、耐磨耐老化、蠕變小）、電性能（介電常數低、漏電低）和化學性能（穩定、耐油、有機溶劑、稀酸等）。同時PI具有比無機介電材料（二氧化硅、氮化硅）更好的成膜性能和力學性能，對常用的硅片、金屬和介電材料有很好的粘結性能，廣泛應用于電子、光學、航空航天、光電器件等領域。